Precision optical aspheres for extreme ultraviolet lithography

机译：用于极紫外光刻的精密光学非球面

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Kania, D.R.; Gaines, D.P.; Sweeney, D.S.; Sommargren, G.E.; La Fontaine, B.; Vernon, S.P.; Tichnor, D.A.; Bjorkholm, J.E.; Zernike, F.; Kestner, R.N.;
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年度 1996
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